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2024-04-10 发布于四川
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本实用新型涉及ITO旋转靶材生产技术领域，公开了一种ITO旋转靶烧结塑型辅助盘，包括具有支撑面的放置部以及自所述支撑面沿第一方向延伸形成的塑型部，所述塑型部具有与ITO旋转靶材的内壁面贴合的外圆周面，所述塑型部用于对所述ITO旋转靶材的底部进行塑型，所述支撑面上具有围设于所述塑型部的外侧壁的凹槽，所述凹槽具有开口，所述开口的一侧端延伸至所述塑型部的外侧壁。本实用新型的塑型部可以有效控制ITO旋转靶材形成的底部的收缩大小，以对ITO旋转靶材起到塑型的作用，避免ITO旋转靶材底部各处的

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220750824U

(45)授权公告日2024.04.09

(21)申请号202322318314.3

(22)申请日2023.08.28

(73)专利权人先导薄膜材料（广东）有限公司

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