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本发明提出了一种基于原子力显微镜的微纳结构三维重建方法，能够应用到超精密加工，微纳尺度制造，微纳结构测量等领域。首先采用原子力显微镜系统和标准探针，获取待测微纳样品在倾斜可旋转载物台和平面载物台上的多视角AFM扫描数据；再基于迭代优化方法，将多视角AFM扫描数据对齐到同一空间坐标系并且剔除多视角AFM扫描数据中的伪影；最后利用神经隐式表面重建方法，将已经对齐并剔除伪影的多视角AFM扫描数据融合为待测微纳结构的三维重建模型。本发明在复杂微纳结构上重建出更完整、准确的样品表面三维模型，不依赖于特制的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117853683A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202410067480.7
(22)申请日2024.01.17
(71)申请人浙江大学
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