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本发明提供一种激光焊锡装置、方法及柔性电子器件的焊锡系统,包括:时空啁啾产生模块,提供一束具有空间啁啾特性的激光束;时空聚焦激光焊锡模块,使具有空间啁啾特性的激光束在聚焦物镜焦平面松散聚焦,且具有空间啁啾特性的激光束中不同频率的光在聚焦物镜焦平面重合并达到最短脉宽;监测模块,对时空聚焦激光焊锡模块的激光焊锡过程进行实时监测。本发明将飞秒激光引入激光焊锡,热效应极小,显著提高BGA焊锡的密度和精度;对入射激光脉冲进行时空特性整形,改变了物镜焦区的光强分布,实现高精度无扫描激光焊锡,从而大大提高焊锡
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117840533A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202211211304.3
(22)申请日2022.09.30
(71)申请人张江国家实验室
地址20121
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