原创力文档- 0
- 0
- 约1.48万字
- 约 17页
- 2024-04-10 发布于四川
- 举报
本发明提供了一种静态随机存取存储器单元的制备方法，包括：提供衬底，衬底中形成有两个第一有源区、两个第二有源区、两个第三有源区和沟槽隔离结构；形成两个下拉栅极结构、两个传输栅极结构和两个上拉栅极结构；执行第一离子注入工艺，形成第一源区、第一漏区、第二源区和第二漏区；形成图形化的掩模层覆盖第一有源区、第二有源区和第一有源区与第三有源区之间的沟槽隔离结构，以及覆盖第二漏区和传输栅极结构与第三有源区之间的沟槽隔离结构；执行第二离子注入工艺，形成第三源区和第三漏区；执行第三离子注入工艺，以降低第二源区的掺
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117858496A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202410257179.2
(22)申请日2024.03.07
(71)申请人合肥晶合集成电路股份有限公司
地址
您可能关注的文档
- 一种CT成像方法和系统.pdf
- 一种新型手术床及手术设备.pdf
- 一种晶圆的预对准方法及其边缘检测装置.pdf
- 一种配电房可见光通信方法、系统及通信设备.pdf
- 一种多肋梁轨顶风道低阻平衡结构及安装方法.pdf
- 用于烟花点火的击发装置.pdf
- 一种邮轮用火灾智能自动报警系统.pdf
- 一种激光焊接设备.pdf
- 一种连续纤维增强热塑性复材蜂窝芯的制备工艺.pdf
- 一种LVT多层地板生产工艺.pdf
- 《GB/T 46962-2026印刷技术 安全印刷过程管理》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 46962-2026印刷技术 安全印刷过程管理.pdf
- GB/T 46962-2026印刷技术 安全印刷过程管理.pdf
- 中国国家标准 GB/T 32580.5-2026轨道交通 地面装置 高压交流开关设备及互感器 第5部分：27.5 kV和2×27.5 kV金属封闭开关设备和控制设备.pdf
- 《GB/T 32580.5-2026轨道交通 地面装置 高压交流开关设备及互感器 第5部分：27.5 kV和2×27.5 kV金属封闭开关设备和控制设备》.pdf
- GB/T 33248-2026印刷技术 胶印橡皮布.pdf
- GB/T 18282.6-2026医疗产品灭菌 化学指示物 第6部分：用于小型蒸汽灭菌器性能测试的二类指示物和过程挑战装置.pdf
- 中国国家标准 GB/T 18282.6-2026医疗产品灭菌 化学指示物 第6部分：用于小型蒸汽灭菌器性能测试的二类指示物和过程挑战装置.pdf
- 中国国家标准 GB/T 31308.1-2026行政、商业和行业中的数据元、过程和文档 长效签名 第1部分：CMS高级电子签名(CAdES)规范.pdf
- GB/T 31308.1-2026行政、商业和行业中的数据元、过程和文档 长效签名 第1部分：CMS高级电子签名(CAdES)规范.pdf
文档评论（0）