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2024-04-10 发布于四川
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一种二维柔性晶体管及制备方法.pdf

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本发明涉及一种二维柔性晶体管及制备方法，属于二维器件制备，包括：将金属电极沉积到柔性衬底上作为源极、漏极；滴加二维半导体纳米分散液，通过匀胶机旋涂成薄层，烘干得到晶体管沟道层；将离子液体、PVDF、丙酮以1:4:7的质量比混合搅拌得到离子凝胶，并涂覆到沟道层上；在离子凝胶层上蒸镀栅极层；将PDMS的硅类聚合体与交联剂的混合液，搅拌，去除气泡，并倒在蒸镀好栅极层的柔性衬底上，通过匀胶机旋涂、烘干、固化，由此制备得到二维柔性晶体管。本发明区别于其他二维器件，不仅得到高迁移率、开关比的二维材料微电子器

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117855277A

(43)申请公布日2024.04.09

(21)申请号202311791258.3H01L29/423(2006.01)

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