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本申请公开了一种硅晶圆片酸腐蚀装置，本装置包括箱体以及设置在箱体内的腐蚀笼，所述箱体的内部设有安装架，所述安装架上设有快速转运机构、水洗槽、快排缓冲箱、酸腐蚀槽、恒温箱体以及药液浓度检测系统，所述水洗槽与酸腐蚀槽并排设置在安装架上方且快速转运机构能够将腐蚀笼在水洗槽与酸腐蚀槽之间来回转运，所述快排缓冲箱设置在水洗槽下方且水洗槽的排放口与快排缓冲箱连通，所述恒温箱体设置在酸腐蚀槽的下方且酸腐蚀槽的下端通过循环管与恒温箱体连通，所述恒温箱体内的药液能够通过计量泵补入到酸腐蚀槽。本申请与现有技术相比：
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220753371U
(45)授权公告日2024.04.09
(21)申请号202321723332.3
(22)申请日2023.07.04
(73)专利权人磐石创新（江苏）电子装备有限公
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