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本发明提出了一种多通道相位调节的压电阵列及其制备方法。新型压电阵列使用压电单元PZT‑5、柔性PI覆Cu电极、封装材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)和整流RC电路组装,主要解决由于超声能量分布不均匀导致的总能量输出效果降低的问题。制备步骤包括基底的准备和清洗,通过激光刻蚀在PI覆Cu上形成金属电极,并将其转移到PDMS上,加热固化,然后进行整体封装。本发明提高了压电阵列的总能量输出,优化了其稳定性,同时具有高效率和低成本,可满足大规模生产的需求。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117858607A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202410042572.XH10N30/07(2023.01)
(22)申请日2024.01.
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