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传感器与微系统（）年第卷第期
ＴｒａｎｓｄｕｃｅｒａｎｄＭｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ２０２４４３１
５６
———
ＤＯＩ：１０．１３８７３／Ｊ．１０００９７８７（２０２４）０１００５６０３
ＳＭＳ结构的光纤ＦＰ腔压力传感器的实验研究
１，２１，２１，２
谢思豪，陶青，陈思远
（１．４３００６８２．４３００６８）
湖北工业大学机械工程学院，湖北武汉；现代制造质量工程湖北省重点实验室，湖北武汉
——ＳＭＳ—ＦＰ
摘要：对单模多模单模（）结构的光纤法布里珀罗（）腔压力传感器进行了研究。从理论上分
析了ＳＭＳ光纤ＦＰ腔压力传感器的工作原理；并用有限元软件仿真了传感器的压力灵敏度为０．３６ｍ／
μ
ＭＰａ，熔接组成光纤ＦＰ腔传感器。实验测试结果表明：灵敏度为０．００４３／Ｎ，得到峰值点幅值与压力的相
关性系数为２，具有良好的线性关系，符合光纤压力传感器的设计要求。
Ｒ９８．８０％
——
关键词：光纤压力传感器；单模多模单模结构；有限元仿真
：：：—（）——
中图分类号ＴＰ２１２．９文献标识码Ａ文章编号１０００９７８７２０２４０１００５６０３
ＥｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｅａｒｃｈｏｆｏｐｔｉｃａｌｆｉｂｅｒＦＰｃａｖｉｔｙｐｒｅｓｓｕｒｅ
ｓｅｎｓｏｒｗｉｔｈＳＭＳｓｔｒｕｃｔｕｒｅ
１，２１，２１，２
ＸＩＥＳｉｈａｏ，ＴＡＯＱｉｎｇ，ＣＨＥＮＳｉｙｕａｎ
（１．ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＨｕｂｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｗｕｈａｎ４３００６８，Ｃｈｉｎａ；
，，）
２．ＨｕｂｅｉＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＭｏｄｅｒｎＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇＱｕａｌｉｔｙＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＷｕｈａｎ４３００６８Ｃｈｉｎａ
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