TFT-LCD玻璃基板制造过程中的几点体会.docxVIP

TFT-LCD玻璃基板是显示产业链的关键上游材料。以中小世代溢流下拉法生产TFT-LCD玻璃基板为例，重点阐述了半成品生产的关键管控理念：质量守恒、能量守恒、电量守恒以及成型稳定的重要性，阐述了成品生产中基础管理工作的重要性，洁净管理和二次污染对质量的影响。目前玻璃基板的主流制造工艺有两种，即浮法和溢流下拉法。以中小世代溢流下拉法生产玻璃基板的制造流程见图1。

图1中小世代溢流下拉法生产过程示意图

液晶玻璃基板半成品生产的关键理念：

（1）半成品生产遵循三个守恒：即质量守恒、能量守恒、电量守恒，这样的玻璃产品内在性能指标一定是最稳定的。

（2）零工耗，是产线稳定的最终目标。工耗（工程损耗）是指某工序从输入到输出端的损失比率，工耗大小是判断产线稳定与否的重要指标。产线稳定先要控制工耗，尤其要做到前工程不断板，后工程不破片，因为它们不仅会导致设备损坏、还会导致温度场破坏、洁净环境破坏等，需要长时间跑片恢复。

（3）成型四个稳定，即来料稳定、节拍稳定、功率稳定、压差稳定。来料稳定是指供料的流量和温度要稳定，它直接关系到厚度分布。节拍稳定和功率稳定牵涉到每一片玻璃的成型热历史，压差稳定事关成型和退火温度、应力大小。而这些都关系到产品的关键指标，关系到产品的一致性问题。对于后续工序而言，各个区域压差、温湿度稳定，气流才稳定，洁净度才能保证，产品洁净才能得以保证。

液晶玻璃基板成品生产的关键理念：

（1）基础管理，成品生产靠的是基础管理，加工、清洗、传输和包装设备的精度是产品外观质量的重要保证。加工从精切开始，精切的质量、精切的量就决定了研磨的质量和效率，乃至清洗的效果和效率。气浮孔（条）送气量大小的变化，会导致擦划伤的产生，导轨精度直接决定研磨质量等。

（2）洁净管理，洁净管理的最终目的是产品洁净。洁净间是产品洁净的基本保证，但洁净等级高不等于产品就洁净，洁净间里人是主要污染源，人员的出入、行为举止、人员数量所有这些细节都要严格管控。

（3）二次污染，必须高度重视二次污染，二次污染中间隔纸又是重中之重。二次污染是指过了颗粒检查机之后的污染，虽然检查都是合格的，但在之后的传送过程中、包装过程中又有新的污染源而导致玻璃基板污染。在二次污染中间隔纸是重点。一定程度讲，管好了间隔纸就管好了一半的产品洁净。为此应合理用好间隔纸。

显示面板作为新一代信息技术的重要组成部分，近年来技术进步加速，显示面板行业也迎来了大发展的机遇，特别是高世代面板发展迅速。由于玻璃基板具有的物理化学性质，其在面板上的应用仍具有不可替代性，这一行业将会长期存在。因此，无论作为玻璃基板、还是作为载板玻璃，从制造过程、质量管控的理念上看，高世代和中小世代玻璃基板是相通的。