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泵浦-探测瞬态热反射检测方法

1范围

本文件确定了泵浦-探测瞬态热反射检测方法的系统组成、技术构架、涉及到的光、

机、电零部件指标要求和参数分析方法，并规定了检测的一般步骤、相关要求等。

本文件适用于电子类相关纳微米尺度薄膜和块体材料热导率和界面热阻测试。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日

期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本

（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T15313-2008激光术语

GB/T13739-2011激光光束宽度、发散角的测试方法以及横模的鉴别方法

GB/T13863-2011激光辐射功率和功率不稳定度测试方法

GB/T14264-2009半导体材料术语

JB/T9478.10-2013光电池测量方法第10部分：上升时间、下降时间

GB/T7247.14-2012激光产品的安全第14部分：用户指南

JB/T6898-2015低温液体贮运设备使用安全规则

GB30863-2014个体防护装备眼面部防护激光防护镜

GB/T11378-2005金属覆盖层覆盖层厚度测量轮廓仪法

GB/T36969-2018纳米技术原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

GB/T31563-2015金属覆盖层厚度测量扫描电镜法

GB/T36053-2018X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面密度仪器要求、准直和

定位、数据采集、数据分析和报告

GB/T16594-2008微米级长度的扫描电镜测量方法通则

GB/T20307-2006纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

3术语及定义

3.1样品表面

样品与空气的接触面。

3.2激光光束直径

2

激光光束强度为峰值能量最大值的1/e倍位置的宽度，单位为米（m）。

3.3脉冲激光脉宽

脉冲激光的半峰全宽，激光脉冲上升和下降到它的50%峰值功率点之间的间隔时

间，单位为秒（s）。

3.4脉冲激光频率

脉冲激光每秒钟发射脉冲的次数，单位为赫兹（Hz）。

3.5脉冲能量

单个脉冲激光携带的激光能量，单位为焦耳（J）。

3.6样品表面脉冲能量密度

1

单个脉冲激光照射样品表面时单位面积内的激光能量，即：

=

式中：

2

——能量密度，单位为焦耳每平方厘米(J/cm)；

——脉冲能量，单位为焦耳(J)；

2

——样品表面激光光束面积，单位为每平方厘米(cm)。

3.7平均功率

一个重复周期内单位时间所输出的激光能量，即：

=∗

式中：

——平均功率，单位为瓦(W)；

——脉冲能量，单位为焦耳(J)；

——脉冲激光频率，单位为每秒(Hz)。

3.8环境温度

o

测试系统所处实验室或密闭空间内的温度，单位为摄氏度(C)。

3.9基准温度