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一种用于立式炉装载区的晶圆片盒转送装置及转送控制方法.pdfVIP

一种用于立式炉装载区的晶圆片盒转送装置及转送控制方法.pdf

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    本发明公开一种用于立式炉装载区的晶圆片盒转送装置及转送控制方法，装置包括安装基板，安装基板内侧设有隔离腔室，隔离腔室内部设有多个用于放置片盒的片盒座，隔离腔室朝向晶圆搬运机械手和片盒搬运机械手的两侧均设有自动启闭并且与隔离腔室密封连接的隔离门组件；隔离腔室中还设有气体组件，气体组件用于控制惰性气体进出隔离腔室内部，并检测隔离腔室内部的氧气含量，以实现隔离腔室内填充惰性气体而隔绝空气。本发明具有结构紧凑、操作简便、密封性能好且自动化程度高等优点，解决了现有立式炉因晶圆片盒进出料过程中混入空气而影响

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117878035A

    (43)申请公布日2024.04.12

    (21)申请号202311690806.3

    (22)申请日2023.12.11

    (71)申请人福建华佳彩有限公司

    地址351

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