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本申请涉及一种单晶炉系统，包括炉台装置、循环管道、冷却装置、抽气装置和检测模块。炉台装置具有进气口和第一出气口，循环管道一端连通进气口，另一端连通第一出气口，冷却装置设于炉台装置外，抽气装置设于循环管道上，抽气装置用于抽出炉台装置内的气体，以使气体被冷却装置冷却后再从循环管道流回至炉台装置内，使得可从进气口向炉内额外通入气体，从而有较多的气体在循环管道内流动参与冷却，因此能够达到更好的冷却效果。检测模块设于冷却装置内，包括气体温度检测器，用于检测循环管道内气体的温度，使得工作人员能实时获知炉内的
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220767237U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202322462594.5
(22)申请日2023.09.11
(73)专利权人晶科能源股份有
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