掩膜及其制造方法、约瑟夫森结的制造方法.pdfVIP

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2024-04-13 发布于四川
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掩膜及其制造方法、约瑟夫森结的制造方法.pdf

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本发明公开了一种掩膜及其制造方法、约瑟夫森结的制造方法。掩膜包括：形成在衬底上，具有贯通的窗口的第一光刻胶层；形成于第一光刻胶层上，对应窗口的区域内形成有连通窗口的预设图形集合的第二光刻胶层，预设图形集合包括多个分布于相同方向上的窗口图形；各个窗口图形在第一方向上的宽度均小于第一距离；各个窗口图形与在第一方向上相邻的窗口图形之间距离均小于第一距离。基于此，利用该掩膜进行约瑟夫森结制造时，可实现每个窗口图形在衬底的第二投影区域仅与相邻的窗口图形在衬底的第一投影区域存在重叠，在重叠区域形成约瑟夫森结

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117867444A

(43)申请公布日2024.04.12

(21)申请号202311650949.1

(22)申请日2023.12.05

(71)申请人本源量子计算科技（合肥）股份有限

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