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本发明提供了一种自动聚焦的光路结构以及半导体检测设备，光路结构包括：多个图卡，于同一直线上间隔设置且多个图卡上分别设有对应的遮光图案；光源组件，朝向图卡发出平行光以形成图形光；物镜，朝向待检测样品设置，以将图形光映射至待检测样品的表面；以及检测相机，用于对待检测样品反射的图形光成像，以对图形光中的多个遮光图案分别进行清晰度分析后确定待检测样品的像距。本发明提供额光路结构相对激光测距和双传感器测距的方式，不仅精度更高，而且检测效率更快。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117871412A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202410009439.4
(22)申请日2024.01.03
(71)申请人安徽创谱仪器科技有限公司
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