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本发明属于晶体生产技术领域,且公开了一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的设计,包括固定支架,固定支架的上表面螺栓连接有固定底座,还包括水平部,水平部包括铰接外壳,铰接外壳铰接于固定底座的上表面,铰接外壳的内部转动安装有套管,套管的内部转动安装有转动管;调平部,调平部包括液压缸和连通管,液压缸和连通管均固定连接在固定支架的内部,液压缸的伸缩端活动套接在连通管的内部,连通管的两端均活动套接有顶杆。本发明通过设置的水平部与调平部,活塞将铰接外壳两端顶起使铰接外壳两端水平而节省了调平时间,同时因操作简单
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117867641A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202311871431.0
(22)申请日2023.12.28
(71)申请人蒙城繁枫真空科技有限公司
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