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本实用新型提供了一种高精度恒温恒湿微电子百级洁净实验室，包括：实验室外墙组合体；安装在实验室外墙组合体内的实验室内墙组合体，所述实验室外墙组合体与实验室内墙组合体之间形成风道；安装在实验室外墙组合体上方的顶板；安装在顶板外侧的全新风洁净空调控制系统；安装在实验室外墙组合体顶部外侧的室外风布风装置；以及安装在验室外墙组合体内的FFU风量及地板回风风量控制系统。本高精度恒温恒湿微电子百级洁净实验室设计合理，可以实现对微电子实验室内恒温恒湿、风速均匀环境的精密控制，确保微电子实验室内空气百级洁净度和低
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220769016U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202321562241.6F24F11/64(2018.01)
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