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高技术通讯2024年第34卷第1期:54-61
doi:10.3772/j.issn.1002-0470.2024.01.006
翼型悬浮抛光液动压流场的数值模拟①
②③
卢凯锋孔凡志文东辉
(特种装备制造与先进加工技术教育部/浙江省重点实验室杭州310023)
(浙江工业大学机械工程学院杭州310023)
摘要分析了盘式翼型悬浮抛光(ASP)的液动压分布规律,推导了工件盘和抛光盘不
同心角速度反向等速条件下的液动压数学模型。对盘式翼型悬浮抛光流场进行了数值模
拟,揭示了抛光盘和工件盘的运动关系以及抛光盘不同翼型曲线和迎角对流体动压力的
大小和均匀性的影响规律。研究表明,当抛光盘和工件盘反向旋转时的流体动压力均匀
性明显优于同向旋转,且当转速比为-1时流体动压力分布的数值模拟效果最佳;当选用
NACA16018翼型曲线、迎角为0°时,液动压带的面积数值效果最优。
关键词翼型悬浮抛光(ASP);液动压力;转速比;运动分析
随着微电子领域和现代光学领域的快速发展与动方式抛光盘直径方向上流体的速度场、压力场呈
[1]
融合,光电产业对衬底抛光表面微区的力学性能现梯度增大,使得材料去除不均匀。
[9]
及其均匀性的要求不断提高。此外,为提高纳米力本文基于液动压抛光原理和翼型悬浮特
[10]
学参数的测试精度,纳米力学表征也要求被测试样性,在盘式抛光装置基础上,考虑了抛光盘和工
[2-7]
的表面质量为少无损伤、超光滑表面。件盘间隙形貌和相对运动的方式,提出了一种翼型
流体抛光加工往往利用流体动压力带动磨粒反悬浮抛光(airfoilsuspensionpolishing,ASP)方法,通
复冲刷试样表面,改善了传统机械抛光中磨粒与试过数值模拟研究其速度场和压力场的形成规律并进
样表面的接触状态,减少了磨粒与试样表面的刚性行优选调控,分析了不同工艺参数对液动压大小及
接触概率,进而获得少无损伤、超光滑加工表面。其分布的影响规律。
现有流体抛光方法的抛光工具可分为球式抛光
工具、柱式抛光工具与盘式抛光工具,三者具有不同1翼型悬浮抛光的原理
的加工特性。球式抛光工具最初用于复杂曲面的弹
[8][11]
性发射加工,其点接触式的抛光去除导致加工效图1(a)为动压浮离抛光加工原理,抛光盘
率不高;柱式抛光基于球式抛光工具进行了改进,抛利用流体动压润滑方式进行非接触式抛光得到超光
光平面与旋转主轴平行,由点接触演变为线接触,可[12]
滑表面工件。郑子军等人的研究表明,抛光盘的
获得均匀的速度、压力场并提高了加工效率,但需要表面形状曲线和约束边界对动压力的大小和均匀分
配合复杂精密机床结构实现多轴运动;盘式抛光工
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