YS∕T 602-2017 区熔锗锭电阻率测试方法两探针法 .pdf

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I臼77.040

H21YS

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T创2-2017

代替YS/T602-2007

区熔错绽电阻率测试方法两探针法

lestmethodforresistivityofzor世·refm创gennanimningotusingatwo-pointprobe

2017“07由07发布2018心1『01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/T602-2017

目。吕

本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。

本标准代替YS/T602-2007《区熔错键电阻率测试方法两探针法》。本标准与YS/T602-2007

相比,主要有以下变动:

l

一一调整了第1章中的测量范围,简化了叙述:

ij

’一寸刷除了“电子天平(5kg)吨的量程“(5kg)”,修改了称£'精度;

一一增加了第5章测试环境;

一一增加了第6章试样5

一一增加了第7章干扰因素;

一一修订了“精密度”表述,增加了“重复性限”和“再现性限”的要求;

一一增加了附录A不规则尾部区熔错链的电阻率测试方法。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。

本标准起草单位:云南临沧鑫圆错业股份有限公司、衡阳恒荣高纯半导体材料有限公司、云南东昌金

属加工有限公司、北京有色金属研究总院、北京合能阳光新能源技术有限公司。

本标准主要起草人:包文东、李贺成、普世坤、惠峰、余怀之、肖宗杰。

本标准所代替标准的历次版本发布情况为:

一一-YS/T602-2007。

-I

t

YS/T602-2017

区熔错绽电阻率测试方法两探针法

1范围

本标准规定了区熔锚’键电阻率的测试方法。

本标准适用于直流两探针法测试区熔错键的电阻率,电阻率测试范围为1.0fl·cm~100n.cm。

·l

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注目期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本〈包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T11071区熔锚健

3方法提要

区熔错键两端做成欧姆接触,并通直流电流ICA),在垂直电流方向的1

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