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一种薄膜介质表层空间电荷注入情况的检测方法及系统.pdfVIP

一种薄膜介质表层空间电荷注入情况的检测方法及系统.pdf

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    本发明涉及一种薄膜介质表层空间电荷注入情况的检测方法及系统，其中方法包括以下步骤：在待测薄膜介质样品表面沉积百纳米厚度的双面金属化电极；将样品安装在电磁屏蔽盒中；对样品施加直流正极性电压，将激光脉冲从待测薄膜介质样品的任意一侧辐照在金属化电极上，通过数字示波器记录正极性电压热脉冲响应电流时域信号；对样品施加同等电压等级的直流负极性电压，并从样品同一侧照射相同强度的激光脉冲，记录负极性电压热脉冲响应电流时域信号；对比正、负极性电压下热脉冲响应电流时域信号的幅值特征，确定薄膜介质表层空间电荷注入情况

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117871964A

    (43)申请公布日2024.04.12

    (21)申请号202311612489.3

    (22)申请日2023.11.28

    (71)申请人华南师范大学

    地址510000

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