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Gen1-PVD1FurnacePicture*RightSide–CloseViewBTURTCIRFurnaceTechnologyHighlightsPVD600Seriesintegrateddryer/firingfurnaceprocessingasinglelaneofpartscanproduceupto30MWofsolarcellsperline.Costsforequipment,factoryspaceandutilitiesarealllower.(PVD600系列干燥/烧结炉产量超过30MW年,设备性价比高,提高厂房利用率。)Testdata—Singlewafer—Left(单片-左)PeakTemp.832.5CLeftBeltspeed=180IPM(带速=180英寸/分钟)Testdata—Singlewafer—Center(单片-中)PeakTemp.829.5CCenterBeltspeed=180IPM(带速=180英寸/分钟)Testdata—Singlewafer—Right(单片-右)PeakTemp.829.5CRightBeltSpeed=180IPM(带速=180英寸/分钟)Temp.uniformityacrossbeltisbetterthan+/-2C,howtoachieve:(网带横向温度均匀性好于+/-2C,设备结构如何达到上述要求:)Removecenterquartzsupport,avoidshadoweffectinspikezone.(将中心支撑石英管去掉,减少对峰值区的阴影)CenterQuartzSupportWithoutCenterSupportContactResistanceScanAddedgeheatingelements,compensatetheshadoweffectduetosupportquartz.(增加两侧加热,补偿两侧支撑石英管的阴影效应)Ramprate:400Cto840Cat86C/second(升温斜率400摄氏度至840摄氏度为86摄氏度/秒)RapidCoolingrate:76C/second(快速降温速度:76摄氏度/秒)-76C/S86C/sAct.Temp.840CDeviation+/-2degreesfromsetpoint,2secondstotalonlywithfirstloading,thenthetemperaturecomesbacktosetpoint.
(在电池片进入炉子时,温度偏差在+/-2摄氏度以内,两秒钟以后,实际温度很快回到设定温度)Controllermayhavechangeoverperiodoftime,thecontrollerneedstobecalibratedregularly.Themostaccuratemethodofcalibratingtheanaloginputsistoperformthebothanaloginputsandcoldjunctioncalibrations.Noothervendorsmentionaboveissue,butBTUdoeshavesolutions.Itisverycriticalforprocessparameters.(通常温度控制器随着时间推移和外界环境温度变化都有漂移,所以都需要校正和冷端补偿。其他炉子供应商都没有强调,BTU公司提供解决方案。温度参数是工艺最重要的参数之一)ConveyorControlswithCloseloopat0.1%accuracy,andComponentsareasfollow(网带采用闭环控制,精确性达到0.1%)**************PVProducts
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