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镀膜生产设备.pdfVIP

镀膜生产设备.pdf

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    本发明提供了一种镀膜生产设备，镀膜生产设备包括：进载腔，进载腔上设置有第一真空泵；加热组件，加热组件的进料端与进载箱相连接，加热组件包括至少两个真空加热装置；出载腔，与加热组件的出料端相连接，出载腔上设置有第二真空泵；传送组件，与进载腔，加热组件和出载腔相连接；其中，传送组件被配置为适于将进载腔中的至少两个工件分别传送至至少两个真空加热装置中加热，以及将完成加热的至少两个工件由真空加热装置传送至出载腔。使镀膜生产设备可以在单次抽真空‑回填大气循环中同时加热多个工件，以大幅度提升加工效率。进而实现

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN111304637A

    (43)申请公布日

    2020.06.19

    (21)申请号20201

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