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本申请公开一种用于外延设备的观察装置及外延设备。该观察装置安装在外延设备腔体上，该观察装置包括：套筒、观察窗和隔热组件，观察窗设置在套筒远离腔体的一端；隔热组件包括装设在套筒内壁上的支架，支架上配置有多个安装部，每个安装部上均插接有石英挡板，多个石英挡板间隔排列且相互平行设置，多个石英挡板被配置用于隔绝腔体内的热辐射，本申请通过在套筒内设置多个石英挡板来实现隔离外延设备腔体的热辐射，确保外延设备腔体内的高温不会对观察人员产生损害。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220767242U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202322483348.8C30B29/40(2006.01)
(22)申请日2023.09.
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