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本发明公开了一种碳基氢气传感器芯片，属于气体检测技术领域，该芯片，从内到外包括P型硅衬底、基层、敏感层和金属电极；所述基层由碳基材料组成，本发明中基层属于碳基材料，该碳基材料是以石墨烯和纳米铂为原料，提高石墨烯作为基材的分散效果，并且提高芯片整体对于气体的敏感性和选择性，敏感层是以Pd掺杂的WO3溶胶为材料制得，使用Pd掺杂的WO3将结合提高敏感层的导电性，碳基材料被Pd掺杂的WO3覆盖在下方，作为良好的导电材料，不仅可以保护基层，还可以提高电子的运输效果，而且降低材料整体电阻，进而提高对气体的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117288809A
(43)申请公布日2023.12.26
(21)申请号202311242565.6
(22)申请日2023.09.25
(71)申请人湖南星硕传感科技有限公司
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