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本实用新型公开了一种硅片高温板链式输送装置，属于硅片输送技术领域，包括加热腔体，设置在加热腔体下方的板链式输送机，加热腔体底端沿长度方向贯穿设有通槽，板链式输送机的链条上并排设有多个下层托架，多个下层托架顶部侧面设有插槽，多个插槽中插接连接有上层托架，多个上层托架顶端穿过通槽延伸至加热腔体内部且并排设有多个支撑杆，多个支撑杆顶端外侧插接连接有陶瓷帽，多个下层托架顶部螺纹连接有将上层托架底部固定在插槽中的紧固件，硅片在运载过程中不会发生相对位移，防止磨损、划伤硅片，板链式输送机远离加热腔体，防止受
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220774395U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202322429482.X
(22)申请日2023.09.07
(73)专利权人常州时创能源股份有限公司
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