一种半导体用超声波缺陷检测辅助设备.pdfVIP

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2024-04-13 发布于四川
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一种半导体用超声波缺陷检测辅助设备.pdf

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本发明属于半导体芯片检测技术领域，且公开了一种半导体用超声波缺陷检测辅助设备，包括检测安装架，还包括，连通模组，所述连通模组分别设置在检测安装架的两侧，且内部滑移连接有与检测安装架内部活动连接的拉动模组，活动模组，所述活动模组安装于连通模组上且通过拉动模组对检测安装架的内部进行吹动。本发明通过设置检测安装架和拉动模组等结构的配合，进而实现了对半导体的快速定位效果，连接杆、放置框安装在去离子水槽中，半导体芯片放置在放置框的内部，拉动绳拉动挡板移动，其在C型管内部产生的气压将会推动抵触块从腔室的内部

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117871690A

(43)申请公布日2024.04.12

(21)申请号202410050690.5G01D11/16(2006.01)

(22)申请日2024.01.