原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开一种可进行四进制逻辑运算的多功能二维场效应晶体管，该多功能二维场效应晶体管通过以下方法制备：S1、采用机械剥离法获得多个WS2薄片；S2、将获得的WS2薄片分别转移到清洗干净的硅衬底上，选择具有两个原子层的WS2薄片；S3、使用标准电子束光刻工艺在步骤S2选择好的WS2薄片上图案化源电极和漏电极；光刻后，金属电极于高真空下在薄片上热蒸发，然后在丙酮中进行剥离工艺，以获得清晰的金属电极。本发明的场效应晶体管通过调节Vg、Vd以及光照强度能在同一个二维场效应晶体管进行四进制逻辑运算，光信号
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117878148A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202310989319.0
(22)申请日2023.08.08
(30)优先权数据
2022-163959202
文档评论（0）