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本实用新型提供了一种外延炉加热灯板及外延炉。所述外延炉加热灯板具有上温区、中温区和下温区；所述上温区、中温区和下温区均包括依序排布的多根灯管，且所述上温区和所述下温区的灯管数量均大于所述中温区的灯管数量。本实用新型通过对外延炉加热灯板的灯管接线方式、温区分布、设备温控结构进行改造，使得整个灯板的加热方式功率更加均衡，避免出现局部灯管过载过热。经过改造后，经长时间的工艺验证，没有出现灯板/反射板烧坏，灯管过载、工艺腔体报废等现象，有效延长了外延炉的灯管、反射板以及工艺腔体的寿命，提高设备利用率，降
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220767243U
(45)授权公告日2024.04.12
(21)申请号202322448396.3C30B23/02(2006.01)
(22)申请日2023.09.
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