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本发明涉及一种白光干涉三维形貌解算方法、装置、设备及存储介质，属于表面形貌测量技术领域，其中，该方法包括：以预设扫描周期对待测样本进行白光干涉处理得到多个白光干涉条纹图像；从所述白光干涉条纹图像中获取目标像素点的时序干涉信号；对所述时序干涉信号进行移动均值滤波处理；根据滤波后的时序干涉信号定位零级条纹位置索引和光强值；基于预设的移相公式和所述光强值计算被测样本的相位分布；根据标定的空间偏移量、所述零级条纹位置索引和所述相位分布计算被测样本的高度信息。本发明对时序干涉信号进行移动均值滤波处理，去除
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117870574A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202410283437.4
(22)申请日2024.03.13
(71)申请人广东普洛宇飞生物科技有限公司
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