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简易LD特性参数测试系统的关键技术研究的开题报告

【摘要】

本文旨在通过研究LD特性参数测试系统的关键技术，建立一套行之有效的LD特性参数测试方法，以提高LD器件的性能和质量。本文首先阐述了LD器件的特性参数测试方法的重要性，并就当前主流的LD特性参数测试技术进行了对比分析。接着，综合运用多种技术手段，提出了一种基于SEM、AFM和光尺的LD特性参数测试系统，并对测试系统各项参数进行了分析与论证，进而完成了系统的设计。最后，在系统上进行了一系列实验，研究了在该测试系统下的LD特性参数的相关数据，并得出了切实可行的实验结果。

【关键词】

LD器件、特性参数测试、SEM、AFM、光尺

【Abstract】

TheaimofthispaperistoestablishaneffectivemethodfortestingthecharacteristicsparametersofLDdevicesbyresearchingthekeytechnologiesofLDcharacteristicsparameterstestingsystem,soastoimprovetheperformanceandqualityofLDdevices.Thispaperfirstlyexpoundstheimp