《泵浦-探测瞬态热反射检测方法》征求意见稿.docx

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-泵浦-探测瞬态热反射检测方法

1范围

本文件确定了泵浦-探测瞬态热反射检测方法的系统组成、技术构架、涉及到的光、机、电零部件指标要求和参数分析方法，并规定了检测的一般步骤、相关要求等。

本文件适用于电子类相关纳微米尺度薄膜和块体材料热导率和界面热阻测试。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本

（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T15313-2008激光术语

GB/T13739-2011激光光束宽度、发散角的测试方法以及横模的鉴别方法

GB/T13863-2011激光辐射功率和功率不稳定度测试方法

GB/T14264-2009半导体材料术语

JB/T9478.10-2013光电池测量方法第10部分：上升时间、下降时间GB/T7247.14-2012激光产品的安全第14部分：用户指南

JB/T6898-2015低温液体贮运设备使用安全规则

GB30863-2014个体防护装备眼面部防护激光防护镜

GB/T11378-2005金属覆盖层覆盖层厚度测量轮廓仪法

GB/T36969-2018纳米技术原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

GB/T31563-2015金属覆盖层厚度测量扫描电镜法

GB/T36053-2018X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面密度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

GB/T16594-2008微米级长度的扫描电镜测量方法通则

GB/T20307-2006纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

3术语及定义

3.1样品表面

样品与空气的接触面。

3.2激光光束直径

激光光束强度为峰值能量最大值的1/e2倍位置的宽度，单位为米（m）。

3.3脉冲激光脉宽

脉冲激光的半峰全宽，激光脉冲上升和下降到它的50%峰值功率点之间的间隔时间，单位为秒（s）。

3.4脉冲激光频率

脉冲激光每秒钟发射脉冲的次数，单位为赫兹（Hz）。

3.5脉冲能量

单个脉冲激光携带的激光能量，单位为焦耳（J）。

3.6样品表面脉冲能量密度

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单个脉冲激光照射样品表面时单位面积内的激光能量，即：

H=

式中：

Q

A

H——能量密度，单位为焦耳每平方厘米(J/cm2)；

Q——脉冲能量，单位为焦耳(J)；

A——样品表面激光光束面积，单位为每平方厘米(cm2)。

3.7平均功率

一个重复周期内单位时间所输出的激光能量，即：

pa=Q?f

式中：

pa——平均功率，单位为瓦(W)；

Q——脉冲能量，单位为焦耳(J)；

fp——脉冲激光频率，单位为每秒(Hz)。

3.8环境温度

测试系统所处实验室或密闭空间内的温度，单位为摄氏度(oC)。

3.9基准温度

待测样品所处的样品仓内温度，单位为摄氏度(oC)。

3.10带宽

在特定频率范围内的信号传输能力或信号处理能力。

3.11示波器直流信号(DC)

在测试中，光电探测器获得的反射探头信号包含的直流部分，即无泵浦加热情况下的参考电压信号，单位为毫伏（mV）。

3.12示波器交流信号(AC)

在测试中，光电探测器获得的反射探头信号包含的交流部分，该部分是探测激光反射光功率随时间变化所引起的电压信号变化量，单位为毫伏（mV）。

3.13上升时间(tr)

当瞬时加上稳态光照时,光电流对峰值而言从规定的低百分值上升到规定的高百分值所需的时间为上升时间，单位为秒(s)。

3.14热导率

单位温度梯度在单位时间内经单位导热面所传递的热量，单位为瓦每米每开尔文

(W/mK)。

3.15界面热导

流过该界面的单位面积热流与界面处的温差之比，单位为兆瓦每平方米每开尔文

(MW/m2K)。

3.16热反射系数(Cth)

表示材料表面反射率变化和表面温度变化的关系，是两者所成的比例，即：

=?T=cth?T

式中：

ΔR/R——反射信号的变化率；

Cth——热反射系数，单位为每摄氏度(oC-1)；

ΔT——样品表面温度的变化量，单位为摄氏度(oC)。

3.17热反射线性关系

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热反射线性关系指的是反射信号的变化率(ΔR/R)和样品表面温度的变化量(ΔT)之间的比例几乎不变，即Cth为常数。这是是基于热反射原理的相关技术用作材料热表征的最基本假设。