金属及其他无机覆盖层 镀层厚度的测量 裴索多光束干涉法.pdfVIP

金属及其他无机覆盖层覆盖层厚度的测量裴索多光束干涉法

1范围

本文件规定了一种使用裴索多光束干涉仪测量覆盖层厚度的方法，所测量的覆盖层具有厚度较薄

（最大厚度2μm）且反射率高的特点。

本文件规定的测试方法不适用于搪瓷类覆盖层的测量。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T3138金属及其他无机覆盖层表面处理术语（GB/T3138—2015,ISO2080:2008,IDT）

GB/T12334金属和其他非有机覆盖层关于厚度测量的定义和一般规则（GB/T12334—2001,

ISO2064:1996,IDT）

GB/T6463金属和其他无机覆盖层厚度测量方法评述（GB/T6463—2005,ISO3882:2003IDT）

3术语和定义

GB/T3138、GB/T12334界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

测微目镜Filarmicrometereyepiece

用于观察和测量图像的装置。包括可调节透镜，一条随旋转手轮移动的指示线，以及横跨视场的一

系列计数线。

3.2

刻度单位Filarunits

测微仪控制装置上的刻度，与长度单位成比例。

3.3

裴索平板Fizeauplate

表面光滑，且具有高反射率和低吸收率的光学平板。

3.4

干涉条纹Fringelines

由光波干涉而形成的一组暗线。

3.5

指示线Hairlines

测微目镜内随旋转手轮移动的细线，用来测量干涉条纹的间距和偏移量。

3.6

偏移量Offset

样品表面产生垂直高度变化时，条纹发生的位移。

3.7

间距Spacing

干涉条纹之间的距离。

4原理

在不侵蚀基体的情况下完全溶解一小块覆盖层（或在镀覆盖层前对基体进行掩盖），从而形成一个

从基体表面到覆盖层表面的台阶，并使用多光束干涉仪测量台阶的高度。

单色光束在样品表面和重叠透明的参考平面板之间来回反射，从而产生能被低倍显微镜观测到的干

涉条纹，如图1所示。通常参考平面板相对于样品表面有略微的倾斜，这样可以让干涉条纹成为一组直

的平行线。样品表面高度差的台阶会导致干涉条纹发生偏移。偏移一条完整条纹相当于垂直位移了1/2

单色光波长。通过测微目镜能确定条纹位移所包含的整数和分数的条纹间距。

5设备

该仪器采用：

a)一束单色光束；

b)光学元件引导光线穿过特殊覆盖层的裴索平板，并以微小角度与样品接触，从而形成楔形空气

层。在楔形空气层中产生干涉条纹，并通过测微目镜观察。条纹间距和形状精确的描绘了样品表面的等

高线。

6影响测量精度的因素

6.1反射覆盖层

为了获得精确测量所必需的干涉条纹，同时避免因不同相移而产生的误差，试样表面应镀上具有高

反射性的材料，比如铝或银等。如果台阶处的表面是高度反射的，并且已经校正了相移引起的误差，则

可以不使用反射覆盖层。

6.2台阶形状

对于覆盖层厚度小于0.3μm的试样，通常不需要特殊加工，如图2（a）所示。

如果被测量的台阶坡度较大，则条纹无法穿过台阶，也就无法观察到有多少完整的条纹间隔发生了

错位。可以通过前期经验对厚度进行估算，或者通过诸如轮廓测量法、白光干涉法等其他技术进行测量。

通过适当的方法，降低测量台阶的坡度，使条纹可以沿着台阶依次分布。最佳角度通常为95°~100°，

如图2（b）所示。

6.3读数精度

为了尽可能的消除空程误差，应始终沿同一方向对测微目镜进行调整。

6.4表面平整度

表面应非常平整，以便在展开时产生清晰的干涉条纹，尤其是测量厚度为0.001-0.01μm时。表面

的不平整会引起条纹的弯曲，进而导致测量精度的下降。曲率半径越小，测量精度越低。

图1裴索多光束干涉仪测量覆盖层厚度原理图

（a）覆盖层厚度小于0.3μm（b）覆盖层厚度大于0.3μm

图2台阶形状

6.5台阶清晰度

为了获得精确的厚度测量数