基于激光测厚系统的精度补偿技术.docx

1??序言

某特殊用途大型机械铝合金网格壁板，其长宽尺寸为5000mm×2500mm，网格壁板厚度范围为2～20mm。因板材需要较高的强度，且需要控制自身重量，所以设计人员对其厚度精度提出了较高的要求，厚度公差为±0.1mm。但板材尺寸较大，测量任务繁重，且精度要求较高，对传统人工手持超声测厚仪检测方法提出了较大的挑战。针对壁板厚度测量问题，引入了双侧激光测厚技术，通过在壁板的两侧对称布置激光测距传感器，两传感器距离值分别与两传感器测距值求差，即可得到壁板的厚度值。激光测量模块配合运动控制装置，可自动测量壁板的厚度。

激光测厚系统的核心部分是激光测量模块（见图1），该模块由一对激光线轮廓扫描传感器组成。因产品精度要求较高，所以设计人员对系统的检测精度提出了较高的要求，系统的静态误差（测量模块与壁板相对静止时的测量误差）应控制在±0.02mm以内。

图1激光测量模块

该系统的原理并不复杂，但精度要求较高，在调试系统精度过程中，存在如下问题：①系统的时间稳定性差，即从传感器通电开始，随着时间的推移，测量结果也随之变化（漂移），需要等待较长的时间，传感器才能提供稳定的测量数据。②传感器存在明显的线性误差，导致检测不同厚度的壁板时，测量精度差别较大。针对上述问题，需要对传感器进行修正补偿，提升系统的稳定性和测量精度，以满足设计要求。

2??系统测厚原理

系统所使用的传感器为某进口激光线轮廓扫描传感器，传感器的工作原理是基于激光三角测距法，光路如图2所示。

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图2激光三角测距法光路

该传感器的组成主要包括激光光源、会聚透镜、接收透镜、探测器（主要是PSD或CCD）及信号处理控制器等。由激光光源发出的激光经会聚透镜到达被测产品的表面，其漫反射光经接收透镜形成光斑，并成像在光电检测器件（PSD）上。该散射光斑的中心位置由传感器与被测物体表面之间的距离决定。被测物体表面的位移改变会使光敏元件上成像光点产生位移，而光电检测器件输出的电信号与光斑的中心位置有关，通过对光电检测器件输出的电信号进行运算处理，就可获得传感器与被测物体表面之间的距离信息。假设当物体位于参考面D时，光斑成像于PSD中心位置F处，被测面与参考面相距S时，光斑像点在PSD上的位移为△S，其中△S=FF’。则S为

该传感器可实时测量与被测物体表面之间的距离。本系统所使用的激光线轮廓扫描传感器如图3所示。Z方向为传感器的测距方向，量程为80～120mm，即传感器与被测产品之间的距离应控制在Z方向量程范围内。X方向量程为50mm，即传感器在X方向扫描测量范围为50mm的线。

图3激光线轮廓扫描传感器

通过在被测壁板两侧同时安装该传感器，使壁板处于两传感器Z方向工作量程范围内，预先标定两传感器的距离L，L与两传感器的测距值求差值，即可实现壁板厚度的测量。

3??传感器时间稳定性（漂移）补偿

3.1问题分析

传感器的时间稳定性较差，即传感器从通电开始，不同时间对同一产品的同一位置进行测量，测量结果存在较大差异。测量现场为恒温、无振动环境，排除了外界环境的影响。为了获得传感器示值随时间的变化规律，进行了相关的试验。

因传感器Z方向工作量程为80～120mm，需要研究传感器在全量程内的示值变化规律。从传感器通电开始，持续跟踪观测传感器Z方向80mm和120mm两个静态目标，观测时长为7200s，分别得到两组示值变化曲线。以传感器1为例，所得数据曲线如图4所示。

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图4传感器1示值变化曲线

从图4中可获得三点信息：①传感器从开机通电至6000s，传感器示值变化量＞0.05mm，若不增加补偿措施，此时间段传感器难以满足使用要求。②6000s后，两组数据均趋于稳定，最终数值稳定在±0.001mm以内，可以满足使用要求。③两组数据的变化趋势一致，传感器在量程范围内的一致性较好，且稳定状态下（6000s后），两组数据的差值为0.0024mm，有利于对传感器进行补偿。

综上所述，传感器从开机通电，需要等待6000s才能使用，难以满足现场使用要求。需要通过增加补偿措施，缩短传感器从通电到稳定状态所需等待的时长，减小漂移量，提高传感器的时间稳定性，使传感器尽快进入稳定工作状态。

3.2时间稳定性（漂移）补偿

针对传感器时间稳定性问题，通过硬件和软件算法相结合的方法进行补偿。

（1）补偿原理以传感器1为例，在传感器Z方向量程下限位置安装一个高精度的补偿板，传感器与补偿板之间的距离记为Zmin，如图5所示。该补偿板为100mm×50mm的矩形薄板，薄板中间部分均匀的去掉90mm×40mm的矩形，保证传感器工作时，激光线中间40mm可以透过补偿板投射到被测产品上，用于测量被测产品的距离。两侧5mm激光线被补偿板阻挡，用于补偿。

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图5补偿示意

在传感器进入稳定工作状态后（传感器通电6000