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本发明公开了一种微结构的干涉衍射测量装置及其结构复原方法，包括相干光源，由相干光源发出的光经过偏振片和扩束准直系统后经第一分束棱镜分为两路光，一路通过衰减片后被第一反射镜反射形成参考光，另一路到达微结构产生装置形成衍射光，衍射光经过第二双凸透镜后，与参考光在第二分束棱镜合束后发生干涉，第二双凸透镜的像方焦平面经过第二分束棱镜后发生平移，将CCD感光面放置在平移后的像面上。本发明将振幅或相位调制器作为微结构产生装置，将干涉仪作为微结构的干涉衍射测量装置，能够简单地实现对复杂微结构的可控采集以及干涉
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117889747A
(43)申请公布日2024.04.16
(21)申请号202311758306.9
(22)申请日2023.12.19
(71)申请人江苏科技大学
地址212000
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