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一种蒸镀遮罩，包括：外框及子遮罩。外框具有开口，开口的两侧具有相对的两定位侧边。子遮罩适于连接外框，并具有图案区域以及两固定区域，图案区域位于子遮罩的中央，固定区域位于图案区域的相对两侧，并适于在子遮罩与外框连接时分别连接于不同的定位侧边。在子遮罩的表面上具有第一基准点以及第二基准点，第一基准点位于图案区域的中央，第二基准点位于图案区域靠近固定区域其中之一的边缘。沿着子遮罩的厚度方向上，第一基准点及第二基准点之间的第一距离小于或等于200μm。本申请还提供一种蒸镀遮罩的评价方法。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117888064A
(43)申请公布日2024.04.16
(21)申请号202410176733.4
(22)申请日2024.02.08
(30)优先权数据
1121426942023.
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