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JJG508-2004
四探针电阻率测试仪检定规程
范围
本规程适用于接触式，测量范围在10-',fl"cm一1少Q"cm的四探针电阻率测试仪的
首次检定，后续检定和使用中检验。对某些多功能的四探针电阻率测试仪或只能测量方
块电阻四探针测试仪也同样适用。方块电阻的测量范围在10-10/口一1040/口。
本规程不适用于二探针、三探针、六探针及方型四探针电阻率测试仪的检定。
2概述
四探针电阻率测试仪(以下简称电阻率测试仪)，是用来测量半导体材料及工艺硅
片的电阻率，或扩散层及外延层，以及绝缘衬底镀膜层方块电阻的测量仪器。它主要由
电气部分和探头等部分组成。自动式测试仪还包括计算机及接口等部分，电气部分一般
包括可调稳流源、A/D转换器、数字显示器、换向开关等仪器和部件。探头部分一般包
括探头夹具、探头和样品台，其原理图及方框图如图1和图2所示。
图1标准样片检定电阻率测试仪的原理图
x一换向开关;R、一标准电阻;仔一探针接线;玫一无热电势开关;R、一被检标准样片
直流稳流源探针头及
微型计算机部分
及数字电压表样品台部分
图2标准样片检定电阻率测试仪的方框图
3计It性能要求
3.1对电阻率测试仪技术指标的要求
3.1.1各种型号的电阻率测试仪的技术指标应符合出厂技术说明书的要求。工级、
II级电阻率测试仪的技术指标应符合SJ/T10314-92和SJ/T10315-92的部颁标准。
JJG508一20(l4
2仪器的测量范围(见表1)
表1电阻率测试仪的测t范围
电阻率测试仪等级I级n级
电阻率/(n·cm)104一1己10一3一2xl03
一
方块电阻/(侧口)10一〕一10，102一2xl少
电阻In10一”一IJ102一Zxl了
仪器的准确度(见表2)
表2电阻率测试仪的准确度
电阻率测试仪等级工级n级
0.oln·cm一500n·cm(%)士3土5
小于0.0{)In·Cm一0.01几·Cm(%)
士5土10
大于50()n·crn一1以洲〕n·cm(%)
注:准确度以示值基本误差表示
4探针头技术指标(见表3)
表3探针头的各项技术指标
探针头的级别工级n级
探针头间距系列/mm1.〕卫)1.590
探针头间距相对偏差/(%)小于或等于1小于或等于2
探针游移率/(%)小于或等于0.3小于或等于0，5
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