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本发明提供一种含钌溅射靶材废料综合回收方法及装置，所述方法具体包括以下步骤：(1)将含钌溅射靶材废料、捕收剂、FeO源以及造渣剂均匀破碎并混合；(2)将混合物进行熔炼，得到富铂族金属合金、熔渣和烟尘，对烟尘进行冷却，收集烟尘中的粗RuO2、RuO4；(3)将富铂族金属合金进行电解，得到富铂族金属的阳极泥，继续提纯，得到富铂族金属，所述富铂族金属包括钌金属。本发明能够高效收集含钌溅射靶材废料中的钌，同时能够进行含钌溅射靶材废料中其它铂族贵金属的回收再利用，适用于工业废弃物中的有价金属综合循环再生。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117904438A
(43)申请公布日2024.04.19
(21)申请号202311705216.3
(22)申请日2023.12.12
(71)申请人中南大学
地址410083
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