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本发明涉及一种采用感应加热实现水平定向生长板状晶体的装置和方法，装置包括生长腔室，生长腔室内放置坩埚，所述坩埚上方敞口并设有籽晶夹持口、放肩生长段和等宽生长段；生长腔室的外部沿坩埚的长度方向环设有感应线圈；坩埚的上表面设有盖板，盖板将坩埚放肩生长段全段和等宽生长段除尾部外的其余区域上方敞口封盖，等宽生长段尾部保留的敞口区域构成装料口；还包括直线运动机构，所述直线运动机构用于使得感应线圈和生长腔室之间沿坩埚内结晶方向产生相对运动。本发明将上方设计有封盖的坩埚放于可移动式温场结构内进行感应加热、生长
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117904701A
(43)申请公布日2024.04.19
(21)申请号202410068067.2
(22)申请日2024.01.17
(71)申请人中国电子科技集团公司第二十六研
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