一种特别适于测量含氢流体的压力传感器.pdfVIP

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2024-04-20 发布于四川
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一种特别适于测量含氢流体的压力传感器.pdf

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本申请提供了一种压力传感器，其包括：金属基体，其内部形成压力腔，压力腔的下端设有用于接收含氢流体的开口且其上端封闭有一弹性隔膜，压力腔的内表面的全部或部分覆盖有用于抑制氢原子向金属基体中扩散的隔离层；设置于金属基体上侧的塑料接插件；上下连接金属基体和塑料接插件以形成一密闭的安装腔的金属筒壳；设置于隔膜的上表面的压力感测电路，用于根据弹性隔膜的形变输出测量信号；及设置于安装腔的信号处理模块，用于处理上述测量信号后向外部设备输出测量结果。该压力传感器特别适合于氢气等含氢流体的高压、稳定测量。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117906822A

(43)申请公布日2024.04.19

(21)申请号202310942547.2

(22)申请日2023.07.27

(71)申请人武汉飞恩微电子有限公司

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