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本发明涉及一种裸片顶出装置以及包括其的裸片键合设备，根据本发明的裸片顶出装置包括：顶出器主体，构成为圆筒形；罩体，构成在所述顶出器主体的上方，并形成有在中心部形成的中心孔以及空气能够在所述中心孔的周边流动的周边孔；缓冲部件，在所述顶出器主体的内部空间中位于所述罩体的下方并在中心部形成与所述罩体的中心孔连通的空间；推杆部件，构成为在所述顶出器主体的内部空间中位于所述缓冲部件的下方并通过所述中心孔升降；弹性部件，结合于所述推杆部件和所述缓冲部件而使所述推杆部件的振动衰减；止挡部件，保持所述缓冲部件和
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117913021A
(43)申请公布日2024.04.19
(21)申请号202310957780.8
(22)申请日2023.08.01
(30)优先权数据
10-2022-0133432
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