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本申请涉及电阻测试设备清洁装备领域的一种四探针仪清针装备及其制造方法，包括：陶瓷基板；多个陶瓷尖峰，均匀设于所述陶瓷基板的一侧，形成尖峰区域；四探针仪清针装备的制造方法包括：准备陶瓷基板；根据尖峰区域的尺寸设计掩膜；用所述掩膜覆盖住所述陶瓷基板一侧的非加工区域；采用干法刻蚀，使用等离子刻蚀机对所述陶瓷基板的加工区域进行刻蚀，在陶瓷基板的加工区域形成均匀分布的陶瓷尖峰，得到四探针仪清针装备。本申请的四探针仪清针装备可以实现对四探针仪的针尖所沾染薄膜层的残留物的清理，同时降低对探针的表面金属镀层造成
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117900173A
(43)申请公布日2024.04.19
(21)申请号202311668394.3
(22)申请日2023.12.06
(71)申请人北京子牛亦东科技
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