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本发明是关于一种光罩清洁设备、光罩翻转机构及光罩清洁方法，光罩清洁设备是适用于清洁一光罩，该光罩清洁设备的内部设有一清洗区与一光罩翻转区，该光罩具有一第一面与一第二面，且于第一面上设有一图案与一光罩保护膜，光罩保护膜覆盖该图案，光罩清洁设备包括一种光罩翻转机构、一运送机构及至少一清洗机构。其中，光罩翻转机构是位于光罩翻转区内，光罩翻转机构适用于翻转光罩。此外，运送机构适用于运输光罩，以使光罩在光罩翻转区及该清洗区间进行移动。清洗机构是位于清洗区内，且清洗机构用于清洗该光罩。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117912981A
(43)申请公布日2024.04.19
(21)申请号202211241168.2
(22)申请日2022.10.11
(71)申请人邱俊荣
地址中国台湾新北市树林
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