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本发明公开了一种高精度铝基碳化硅薄壁壳体类零件的精密加工方法，属于精密机械制造技术领域，主要工艺流程包括：1)毛坯备料；2)粗车成筒状，外圆、内孔及端面均留量；3)固溶处理；4)半精车成型；5)数铣加工，铣外型及内腔处各特征达图纸要求；6)高低温尺寸稳定化处理；7)精加工轴承配合面和粗糙度Ra0.8的各内孔、端面；8)超声波清洗，去除多余物；9)检验。本发明解决了高精度铝基碳化硅薄壁壳体类零件精密加工工艺问题，运用硬质合金刀具进行粗加工，PCD刀具进行半精加工和精加工，有效的降低了加工成本；精加
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115647732A
(43)申请公布日2023.01.31
(21)申请号202211230419.7
(22)申请日2022.09.30
(71)申请人中国科学院光电技术研究所
地址6
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