SJ 21261-2018 MEMS 惯性器件结构设计要求.pdf

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中华人民共和国电子行业标准

FL6117SJ21261-2018

MEMS惯性器件结构设计要求

StructuraldesignrequirementsforMEMSinertialdevice

2018-01-18发布2018-05-01实施

国家国防科技工业局发布

SJ21261-2018

刚吕

本标准由中国电子科技集团公司提出。

本标准由工业和信息化部电子第四研究院归口。

本标准起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所。

本标准主要起草人：徐淑静、杨拥军、杨志、一奎噩噩、任倩婷、青超、卢新艳。

SJ21261-2018

MEMS惯性器件结构设计要求

1范围

本标准规定了MEMS惯性器件敏感结构的设计要求。

本标准适用于硅基MEMS电容式加速度计和振动式陀螺仪敏感结构的设计。

2规范性引用文件

下列文件中的条款、

修改单（不包含勘误

是否可使用这些文＋

GJB585

3.2

质量块pro句：皿

能够将外界加

3.3

3.4

电容灵敏度capacitancesensitivicy

敏感结构中电容变化量与质量块位移变化量的比值。

3.5

止档stopper

敏感结构中为避免质量块位移过大导致结构发生破坏而设置的限位结构。

3.6

锚点anchor

悬空结构与基底连接的点。

SJ21261-2018

4一般要求

4.1软件和硬件要求

设计平台应具备基本的软件和硬件配置，能够进行MEMS惯性器件敏感结构的静力学、动力学、电

学和糯合场特性分析。

4.2设计依据

设计时应考虑b在EMS惯性器件的敏感结构形式、材料、工艺、结构参数等，MEMS惯性器件敏感结

构设计应满足MEMS惯性器件性能指标和环境适应性指标要求。MEMS惯性器件性能指标主要包括量

程、标定因数非线性、分辨率、稳定性、重复性、频率响应、温度漂移，环境适应性指标主要包括振动、

机械冲击、温度适应性和低气压等。各项性能指标与结构设计参数的关系见表1:

表1MEMS惯性器件产品性能指标与结构设计参数的对应关系

MEMS惯性器件产品性能指标

影响指标的结构设计参数

盘：程和标度因数非线性

机械刚皮、质量、电容灵敏度、初始电容值、电容间隙、

分辨率工作模态的频率、质量、品质因数、电容灵敏度

稳定性和重复性

残余应力〈受加工工艺影响〉、寄生参数

频率响应工作模态的频率、频差

温度漂移残余应为（受加工工艺影响〉、寄生参数

环境适应性要求机械刚度、材料特性、止档结构、封装

5详细要求

5.1MEMS惯性器件敏感结构设计

MEMS惯性器件敏感结构设计包含敏感结构方案设计、敏感结构详细设计和工艺可行性设计。

5.2敏感结构方案设计

5.2.1通则

方案设计时应考虑MEMS惯性