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中华人民共和国电子行业标准
FL6190SJ21242-2018
晶圆凸点电镀设备通用规范
Generalspecificationforwaferbumpelectro-platingplatform
2018-01-18发布2018-05-01实施
国家国防科技工业局发布
SJ21242-2018
目lj~
SJ21242-2018
晶圆凸点电镀设备通用规范
1范围
文件，其随后所有的
绿－黄一红一脆
操作人员的操作
立即对危险状态进行处理
正一常异一常
异常／待运行
监视／干预
正常状况
正常操作
注：表中颜色、含义、说明及操作人员操作系采用GB,T4025的规定。
表2设备操作按钮的颜色及其含义
颜色含义说明
操作人员的操作
紧急
红危险或应急情况下的动作紧急停止
对抑制异甫状况米取行动
异常异常情况下的动作
黄
重新启动己中断了的自动循环
为安全或为正常状况作准备的动作
绿
安全
才i皿k
需要采取动作的状况
指令性复位功能
注：表中颜色、含义、说明及
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