TCNIA-半导体洁净室 水溶性空气分子污染物（AMC）的测定 离子色谱法.pdfVIP

ICS13.040.30

CCSH80

T/CNIAXXX—XXXX

团体标准

T/CNIAXXXX—XXXX

半导体洁净室水溶性空气分子污染物

（AMC）的测定离子色谱法

Ambientair-DeterminationofthewatersolubleAnionsandCationsfrom

cleanroomAMC-Ionchromatography

（讨论稿）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国有色金属工业协会

中国有色金属学会发布

T/CNIAXXXXX—XXXX

前言

本标准按照GB/T1.1-2020给出的规则起草。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化

技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。

本标准起草单位：中环领先半导体科技股份有限公司，天津中环半导体股份有限公司、山东有研半

导体材料有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、江苏中能硅业科技

发展有限公司、新特能源股份有限公司、上海新昇半导体科技有限公司、青海芯测科技有限公司...

本标准主要起草人：李春阳、吴倩、由佰玲、孙燕、张园园、赵娟龙、张锦梅、王春明、邱艳梅、

冯天、薛心禄...

1

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半导体洁净室水溶性空气分子污染物（AMC）的测定离子色谱法

1范围

----3-2-+

本标准规定了测定洁净室空气AMC中水溶性阴离子（F、Cl、Br、NO、PO、SO）及阳离子（Li、

344

+++2+2+

Na、NH、K、Mg、Ca）的离子色谱仪测定方法。

4

----3-2-+

本标准适用于洁净室内空气AMC中水溶性阴离子（F、Cl、Br、NO、PO、SO）及阳离子（Li、

344

+++2+2+

Na、NH、K、Mg、Ca）的测定。

4

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文

件。

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