TCASME-CVD 碳化硅涂层产品技术要求.pdf

ICS77.040

CCSH17

CASME

中国中小商业企业协会团体标准

T/CASMEXXXX—XXXX

CVD碳化硅涂层产品技术要求

CVDsiliconcarbidecoatingproducttechnicalrequirements

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国中小商业企业协会  发布

T/CASMEXXXX—XXXX

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4一般规定1

5技术要求1

6试验方法2

7检验规则4

8标志、使用说明书、包装、运输和贮存5

I

T/CASMEXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由××××提出。

本文件由中国中小商业企业协会归口。

本文件起草单位：××××

本文件主要起草人：××××

II

T/CASMEXXXX—XXXX

CVD碳化硅涂层产品技术要求

1范围

本文件规定了CVD碳化硅涂层产品的术语和定义、一般规定、技术要求、试验方法、检验规则及

标志、使用说明书、包装、运输和贮存内容。

本文件适用于CVD碳化硅涂层产品。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T7997硬质合金维氏硬度试验方法

GB/T9969工业产品使用说明书总则

GB/T16535精细陶瓷线热膨胀系数试验方法顶杆法

GB/T21782.2粉末涂料第2部分：气体比较比重仪法测定密度(仲裁法)

GB/T31563金属覆盖层厚度测量扫描电镜法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

化学气相沉积chemicalvapordeposition(CVD)

是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上

进行化学反应生成薄膜的方法。

碳化硅涂层siliconcarbidecoa