TFT相关中英文对照表.docxVIP

工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称

版 号： 1.0 总页数： 23

制定部门： 生效日期： 年 月 日

拟

制：

审

核：

标

准

化：

会

签：

批 准：

发布 实施

第

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Input

投料

UnpackingInitialclean

一．TFT工艺流程中英文标准名称

ArrayProcessFlow

拆包装预备清洗

阵列段工艺流程

Gate

栅电极层

Particlecount

Cleanbeforedepo

Gate（Mo/Alalloy)FilmdepoRSmeter

MacroInspectionCleanbeforePRPrebake

PRCoating

PRvacuumdry(VCD)PRsoftbake

Expose

TitlerExpose/EdgeExposeDevelop

PRhardbakeADI

Mic/MacInspectionCDafterdevelopTotalpitch

GateWetetchContactanglePRstrip

CDafteretchAEI

Micro/MacroInspectionLaserRepair

Cleanbeforedepo

尘埃粒子测试

成膜前清洗栅电极