TFT相关中英文对照表剖析.docxVIP

工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称

版 号： 1.0 总页数： 23

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标

准

化：

会

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第

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一．TFT工艺流程中英文标准名称ArrayProcessFlow

阵列段工艺流程

Input投料

Gate栅电极层

Unpacking

InitialcleanParticlecountCleanbeforedepo

Gate（Mo/Alalloy)FilmdepoRSmeter

MacroInspectionCleanbeforePRPrebake

PRCoating

PRvacuumdry(VCD)PRsoftbakeExpose

TitlerExpose/EdgeExposeDevelop

PRhardbakeADI

Mic/MacInspectionCDafterdevelopTotalpitch

GateWetetchContactanglePRstrip

CDafteretchAEI

Micro/MacroInspectionLaserRepair

Cleanbeforedepo

拆包装

预备清洗

尘埃粒子测试成膜前清洗栅电极成膜电阻