晶圆盒 日常清洁.docxVIP

晶圆盒日常清洁

晶圆盒是一种用于存放半导体晶片的专用容器，具有防尘、防湿、耐腐蚀等优良性能，能够保护晶片不受环境污染和机械损伤。由于晶圆盒使用频繁，因此日常清洁非常重要。下面就晶圆盒的日常清洁方法进行介绍。

一、清洁前的准备工作

在清洁晶圆盒之前，需要进行一些准备工作：

1.准备清洁剂和清洁工具：清洁剂最好选择专门的清洁剂，并按照说明书使用；清洁工具可以使用软毛刷、塑料擦拭棒等。

2.将晶圆从晶圆盒中取出：在清洁晶圆盒之前，需要先将晶圆取出，放在干净的工作台上，以免晶圆上带上灰尘、污垢等杂质，导致清洁不彻底，影响晶片制造过程。

3.准备干净的工作台和桶：清洁晶圆盒的过程中，建议将晶圆盒放在净化室内的工作台上进行，避免外界污染；同时也需要准备一个干净的桶，用来装清洁剂和清水。

二、清洁晶圆盒的步骤

在准备好清洁工具和晶片之后，就可以开始清洁晶圆盒了。整个清洁过程需要分为以下几个步骤：

1.刷洗晶圆盒外壳：首先需要使用软毛刷和清水将晶圆盒外壳的灰尘、污垢等杂质刷洗干净，注意不要磕碰到晶圆盒的内部。

2.用清洁剂清洁晶圆盒内部：将清洁剂倒入桶中，然后将晶圆盒悬挂在清洁剂中，并慢慢搓揉，让清洁剂均匀地进入到晶圆盒的每一个角落。一般情况下，清洁剂的浸泡时间不宜超过15分钟。

3.冲洗晶圆盒内部：将晶圆盒取出，用清水将晶圆盒内部充分冲洗干净，一定要注意保持清水的清洁度，以免污染晶片。同时，也要保证晶圆盒内部没有残留的清洁剂。

4.把晶圆盒悬挂在风淋室内：将晶圆盒悬挂在风淋室内，让其自然风干。风淋室内一般为100级的无尘环境，具有很好的风淋效果，可以避免晶圆上出现水渍、棉絮等残留物。

三、注意事项

1.注意清洁剂的选择：清洁剂最好选择专门的晶片清洁剂，并按照说明书正确使用，以免残留的清洁剂会对晶片造成损伤。

2.注意清洁工具的选择：清洁工具可以使用软毛刷、塑料擦拭棒等，千万不要使用硬毛刷、棉纱等材料，以免刮伤晶圆盒内部。

3.注意室内环境：清洁晶圆盒的过程中，需要在无尘、低湿度的环境下进行，以免室内灰尘、湿度等因素影响清洗效果。

4.注意安全操作：在清洁晶圆盒的过程中，需要注意个人安全，避免清洗铝制晶圆盒时遭受划伤等事故。

总之，晶圆盒的日常清洁非常重要，只有保持干净整洁，才能保证晶圆的质量和生产效率。希望上述的清洁方法对大家有所帮助，让大家的生产工作变得更加顺畅。