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中红外3.9μm长波通截止滤光膜研制

张永久;梁立昕;姚大虎;张阔;韩永昶

【摘要】以薄膜光学和激光红外技术为背景,介绍了3.9μm长波通截止滤光膜的

用途、设计与制备方法.基于波动光学原理,首先分析了滤光膜设计方面的难点,其次

讨论了薄膜选材、通带展宽、工艺制备等研究过程中的主要技术问题.利用计算机

优化软件进行优化计算后,结合离子辅助工艺得到了吸收小、透过率高、光洁度与

附着力良好的薄膜.目前相关的技术应用在中红外系统中有效改善了信噪比和响应

度.%Basedonthinfilmoptics,laserandinfraredtechnology,the

usefulness,designandpreparationmethodsof3.9μmlong-passfilter

coatingsinmiddleinfraredbandarepresented.Accordingtotheprinciple

ofwaveoptics,thedesigndifficultiesoffiltercoatingswereanalyzed,and

thensometechnicalproblemsofmaterialselection,passbandbroadening

andprocesspreparationwerediscussed.Afteroptimaldesign,thecoatings

withlowabsorption,hightransmittance,wellsurfaceandadhesionwere

obtainedbycombiningion-assistedtechnology.Thistechnologycan

effectivelyimproveSNRandresponsivityforthemid-infraredsystem.

【期刊名称】《激光与红外》

【年(卷),期】2017(047)007

【总页数】4页(P871-874)

【关键词】中红外;光学薄膜;长波通截止滤光膜;信噪比

【作者】张永久;梁立昕;姚大虎;张阔;韩永昶

【作者单位】北京奥依特科技有限责任公司,北京100015;北京奥依特科技有限责

任公司,北京100015;北京奥依特科技有限责任公司,北京100015;北京奥依特科技

有限责任公司,北京100015;北京奥依特科技有限责任公司,北京100015

【正文语种】中文

【中图分类】O484

3～5μm的中红外波段是衰减最小的大气窗口,在新型红外热像仪和中红外激光器

中有着重要的应用,高性能中波红外光电探测器为了提高其信噪比,在光学系统中常

常需要采用高质量的红外滤光片将不需要的光进行过滤,从而提高其探测和识别目

标的能力。另外,工作在这一波段的中红外薄膜滤光片在自然灾害、资源普查、遥

感系统、红外相机、多光谱成像仪器、光谱分析和航天器件以及很多军工产品中也

有着重要的作用[1]。鉴于此,研制高质量中红外波段光学薄膜对于中红外系统的整

体性能和光学技术的持续发展至关重要。

由于中红外滤光片膜系结构和镀制工艺比较复杂,一直是红外光学薄膜研究的重点

之一。典型的中红外带通滤光片可以粗略分为宽带滤光片和窄带滤光片。宽带滤光

片的设计可以采用长波通滤光膜和短波通滤光膜组合结构,窄带滤光片的设计一般

采用法布里-珀罗结构或多半波结构。

长波通或者短波通截止滤光膜一般是指在特定波长范围内,光学元件表面用以抑制

部分波段透过光能量,同时降低其余波段反射光能量的介质涂层。其特性由光谱图

(图1),以及下列参数确定：

(1)透射曲线开始上升(或下降)时的波长以及许可斜率。

(2)透射带的光谱宽度、平均透射率以及在此透射范围内许可的最小透射率。

(3)具有低透射率的反射带(抑制带)的光谱宽度以及在此范围内所许可的最大透射率。

中波3.9μm长波通截止滤光膜要求对2.0～3.7μm的光能量选择性抑制,而4.0～

5.0μm选择性透过,半波定位波长(3.9±0.1)μm。由于此薄膜的通带透过宽、波长

定位精度要求高,需要采用本征分离带结合